赤外線顕微鏡
  
IR-1300mea
   
高解像度赤外線CMOSカメラとエンハンサソフトウェアにより各種シリコンデバイス
の界面の各部寸法を鮮明な画像で計測する赤外線透過反射顕微鏡システムです。X軸、Y軸、Z軸にリニアスケールを搭載しています。
X,Y,Z軸は手動動作タイプになります。
オプションで電動ステージ、電動フォーカスの搭載も可能です。
重量5kgまでの冶具に搭載したままウエハーの検査、計測が可能です。


     
IR-1300measureの特徴
・赤外線カメラが30FPSになりました。
   ・英語版も追加されました。Emglish version is available.    
・X,Y,Z軸は手動動作タイプとモーターによる自動動作タイプがあります。
・X軸、Y軸、Z軸にリニアスケールを搭載しています。
・130万画素カメラにより高精度な画像撮影が可能になりました。
・DTエンハンサーソフトの追加機能により使いやすさが向上しました。
  ・重量5kgまでの冶具に搭載したままのウエハー検査、計測が可能です。
     
リアルタイムエフェクトソフトウェア
コントラストの低い画像や、ノイズの多い画面をリアルタイムエフェクトソフト
により画像の処理をして、明るい鮮明な見やすい画像にします。
  
搭載機能概略
〜1.画像取込〜
・8bitモノクロ/24bitカラー画像の取り込み
〜2.画像表示〜
・フルスクリーン表示  ・ズーム表示(倍率1〜5程度)
〜3.エフェクト処理〜
・輝度レンジのリアルタイムエフェクト  ・積算処理(ノイズ除去)
〜4.寸法計測〜
・スケール表示 ・面積計算 ・寸法計測
・貼り合わせウエハーのアライメントマークずれ計測
〜5.図形描画〜
・丸、四角、矢印、テキスト描画
〜6.ファイル管理〜
・BMPファイル保存/読み込み ・ONEクリックセーブ機能
・2種類の保存(元画像、追加画像)
   
   
寸法計測例             図形描画例   
   
  
張り合わせウエハーのアライメントマーク位置ずれ計測例
  
側面図
  
正面図
       
対象材料
Si、GaAs、 (材料の組合せ、厚み等の条件により見えない場合があります。)
  
対応カメラ
赤外線CMOSカメラ130万画素(標準)
InGaAsカメラ(オプション)  
 その他カメラにも対応可能です。(お問い合わせください)  
用途
MEMS、WLCSP,SIP,CON等の各種デバイスの内部観察
VCSELの酸化部の寸法計測

張り合わせシリコンウエハーの界面の観察、欠陥検査
張り合わせシリコンウエハーのアライメントマークのずれ計測
  
基本仕様
・対物レンズ 5x、10x、20x、50x、(100x:オプション) 
・カメラ 赤外線CMOSカメラ130万画素  
・照明 透過、反射(ハロゲンランプ) 
・パソコン  ・XYZステージリニアスケール付き
・ソフトウェア 画像改善ソフトDTエンハンサー付き
オプション 
  オートフォーカスユニット
電動X,Y,Zステージ 
自動計測ソフトウエア 
アライメントマークズレ計測機能
VCSELの酸化部寸法計測
OK,NG判断機能
タイリング機能
簡易除振台
 
   
       
注意事項
光学系は赤外線専用設計ではありませんが、取り込んだ画像をソフトウェア処理
することにより鮮明な観察画像を実現しています。詳細はお問い合わせ下さい。
  
エフェクト処理後の画像例
生画像 リアルタイムエフェクト処理後の画面
IRカメラ画像(SXGA)標準 InGaAsカメラ画像(VGA)
オプション
   
サンプル倍率画像例
                                        
対物レンズ10倍   対物レンズ20倍       
        
             
対物レンズ50倍 対物レンズ100倍
VCSEL例 VCSEL例
     
・サンプル撮影:弊社にサンプルをお送りいただき当社にて撮影いたします。(無料)
・技術サポート付サンプル画像撮影:弊社にお越しいただき、当社技術サポートを受けながら撮影します。(有料)
内容等のお問い合わせはこちらから
    
    
赤外線顕微鏡シリコンチップの裏面観察