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| 極限流体測定システム（EXTREME FLUID MEASUREMENT SYSTEM） 製品紹介 EFMSは、半導体・MEMS・製薬業界で使用される流体向けに開発されたデジタル流量測定システムです。既存装置のチューブにフッ素樹脂のセンサーを取り付け、遠隔デジタル処理ユニットにて測定します。 フッ素樹脂のセンサーにすることで、高温・腐食性環境下でもセンサーを設備内に配置することが可能です。 また、デジタル処理ユニットは、既存装置の制御盤や電子機器のキャビネットに取り付けることが可能です。 EFMSは、液体の流量を測定するために超音波のタイムオブフライト法を使用します。センサーがチューブの外部に取り付けられているため、チューブ内の流れを変えることなく計測することが出来ます。その為、超高純度流体の漏れや流体の汚染等を防ぐ事が可能です。 システム構成 遠隔デジタル処理ユニット、フッ素樹脂センサー、RS232C通信ケーブル、データ収集ソフトウエア |
 遠隔デジタル処理ユニット   フッ素樹脂センサー |
動作原理 EFMSは、超音波の伝播時間の原理を利用して流体の流量を測定します。この方法では、高周波音響エネルギーの短いパルス（>4μs）を送信し、そのパルスが流体を通過する時間を測定します。流量は、流れに沿った場合と逆らった場合の伝播時間の差によって計算されます。KFR社は、既存の技術にウェーブレットベースの信号処理を取り入れることで、半導体プロセスで一般的な高減衰性の流体や粘弾性材料におけるスプレッドスペクトラムデバイスの限界値をさらに拡大させることが可能です。 |
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システムの詳細 EFMSは、デジタル流量計とリモートセンサーフレームの組み合わせで構成されています。センサーフレームには、2つの超音波トランスデューサが搭載されており、測定経路に沿ったチューブをまっすぐかつ同心円状に保って測定します。また、断熱材も備えているため熱損失を最小限に抑えます。フレームには能動電子部品や露出した金属が無いため、最大150℃まで使用が可能です。さらに、IP67規格に準拠しており、センサーフレームから耐熱のFEPジャケットケーブルを介してデジタル流量計に接続されています。これにより、能動電子部品を電子機器用の安全な隣接エリアに設置することが可能です。 |
チューブを切断せずに固定できます。 2インチSUSパイプへのセンサー取り付けの様子 |
| センサーの種類 （標準サイズ高純度PFAチューブ） タイプ16： 外径25.4mm、壁厚1.59mm タイプ12： 外径19.1mm、壁厚1.59mm タイプ 8： 外径12.7mm、壁厚1.59mm タイプ 6： 外径9.53mm、壁厚1.59mm（試作段階） タイプ 4： 外径6.23mm、壁厚0.08mm（試作段階） |
| 特長 漏れなし、汚染の可能性ゼロ 高い安定性、低ドリフト プロセス診断機能付きスマートメーター デジタル出力、内部ログ機能 脈動流下での安定性 高温操作対応 中断なしでの後付け設置 簡単なスナップオンセンサー設置 主な用途 ウェットエッチプロセス CMPスラリー 超純粋な流体 未減衰の脈動流 デジタルモニタリング用ツールのアップグレード オペレーターのメンテナンス削減 ツール寿命のモニタリング |
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デジタル流量計仕様 |
| 入力電圧 ２２Vから２６V 消費電力 最大４ｗ センサー入出力 1入力 1出力 通信ポート RS485 ModbusRTU ロジックI/O 1ｃｈアイソレートOUT ２ｃｈアイソレートＩＮ アナログＯＵＴ １ｃｈ ４から２０ｍAカレントトループ |
| データ収集、各種設定ソフトウエア |
 メイン画面 |
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データ管理 EFMSは、独立したパルスおよび電流ループ出力に加えて、Modbus-RTUまたはCANbusのインターフェースを介して利用可能なプロセスおよび流体データの通信機能を備えています。流量に加えて、質量流量、推定流体温度、粒子の塊や液体中の気泡を検出することができます。KFR社は、PC、Linux、Macでデータを記録およびモニタリングするためのアプリケーションを提供しています。また、256バイトのパケットとCRC-16ラッパーを使用してデータを直接取得するためのC言語のサンプルコードも提供されています。 |
| 構造ヘルスモニタリング CRE1トランスミッタは内蔵メモリを備えており、 24時間分の流量統計データを循環的に記録します。 また瞬時流体・流量の連続バッファも保持します。 これによりポンプとバルブシステムの健全性に関するデータが取得できます。 |
 参考図：分速50ストロークで動作するダブルダイアフラムポンプ |
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