赤外線顕微鏡 VCSEL計測用
  
IR-1300 VCSEL
   
高解像度赤外線CMOSカメラとエンハンサソフトウェアによりVCSELの酸化アパーチャを計測する赤外線透過顕微鏡システムです。
     
IR-1300VCSELの特徴
・赤外線カメラが30FPSになりました。(PC性能による)
   ・英語版も追加されました。Emglish version is available.    
・フォーカスの合わせやすさが向上しました。
・XYステージの合わせやすさが向上しました。
・130万画素カメラにより高精度な画像撮影が可能になりました。
・DTエンハンサーソフトの追加機能により使いやすさが向上しました。
    ・DTVCSELの酸化アパーチャー部のコントラスト改善用照明波長調整機能付き
     ・850nmから1100nmまで連続して波長を可変できます。
     
リアルタイムエフェクトソフトウェア
コントラストの低い画像や、ノイズの多い画面をリアルタイムエフェクトソフト
により画像の処理をして、明るい鮮明な見やすい画像にします。
  
搭載機能概略
〜1.画像取込〜
・8bitモノクロ画像の取り込み
・フルスクリーン表示  ・ズーム表示(倍率1〜5程度)
〜3.エフェクト処理〜
・輝度レンジのリアルタイムエフェクト  ・積算処理(ノイズ除去)
〜4.寸法計測〜
・スケール表示 ・面積計算 ・2点間計測 ・垂線長 ・角度計測 ・円計測 
・線幅計測 ・周囲長計測
〜5.図形描画〜
・丸、四角、矢印、テキスト描画
〜6.ファイル管理〜
・BMPファイル保存/読み込み ・ONEクリックセーブ機能
・2種類の保存(元画像、追加画像)
   
   
         
付属ソフトウエアによる酸化アパーチャ部の手動計測例 
     
 850nm照明光の分光特性
         
  
       
   1100nm照明光の分光特性 


    
   
照明光は850nmから1100nmまで連続可変できます。

対物レンズ100倍でのVCSEL画像  
     
  
         装置構成ブロック図        InGaAsカメラ(オプション)
  
6インチステージ搭載例
  
  
       
8インチステージ搭載可能
   
  
対象材料
Si、GaAs、 (材料の組合せ、厚み等の条件により見えない場合があります。)
   
対応カメラ
赤外線CMOSカメラ130万画素(標準)
InGaAsカメラ(オプション)  
 その他カメラにも対応可能です。(お問い合わせください)  
  
用途
VCSELの酸化アパーチャー部の手動計測
  
基本仕様
・対物レンズ 5x、10x、20x、50x、(100x:オプション) 
・カメラ 赤外線CMOSカメラ130万画素  
・照明 透過、反射(ハロゲンランプ) 
・ノートパソコン  ・XYステージ手動
・ソフトウェア 画像改善ソフトDTエンハンサー付き
   
オプション
 
  オートフォーカスユニット
電動X,Yステージ 
2カメラ異焦点ユニット
自動計測ソフトウエア 
OK,NG判断機能
 
   
       
注意事項
レンズは赤外線専用設計ではありませんが、取り込んだ画像をソフトウェア処理
することにより鮮明な観察画像を実現しています。詳細はお問い合わせ下さい。