| 対象ワーク |
3.5インチハードディスク 厚み1.27㎜ |
| 測定範囲 |
外側直径：94.4㎜以内
内側直径：25.0㎜以上 |
| 対象欠陥 |
白欠陥：50平方μm以上、深さ2μm(実績20nm)以上の凹欠陥
黒欠陥：50平方μm以上のダストなど |
| 測定時間 |
8秒以内/1枚(検査開始から結果出力・表示まで) |
| 検出情報 |
サイズ(縦・横)、位置(半径、角度)、面内の個数 |
| 合否判定 |
半径R1～R2の領域に面積N平方ミクロン以上の欠陥がM個以上あれば不合格(R1、R2、N、Mはパラメーターで設定) |
| 測定環境 |
温度：15℃～25℃の範囲で、精度保証範囲は1℃以内
※キャリブレーションご測定終了までの間での変動
湿度：30～85％RH（結露なきこと）
※キャリブレーション後測定終了までの間での変動 |
