MEMS素子検査装置(メムス 微細穴深さ計測、パターン検査)
微細穴深さ計測装置  
赤外線カメラと特殊アルゴリズムを用いて通常では計測不可能な
直径20μm以下の非貫通穴の深さ計測を可能にしました。
         
                  装置全体                      計測ステージ部
 微細穴深さ計測装置での計測画像例

パターン検査装置
赤外線顕微鏡と電動ステージを使用した自動赤外線画像処理検査装置
欠陥の自動検出を行います。欠陥部の位置、サイズ、画像を保存できます。
MEMS(マイクロマシン)の検査用途に使用します。
  
           
         ステージ1  反射照明タイプ       ステージ2 反射、透過照明タイプ            透過
特徴
            ・今まで目視にて行なっていた顕微鏡検査を自動化、定量化します。
            ・検出画像を保存できます。 ・検査結果をマップ表示できます。
            ・画像オートフォーカス     ・欠陥検出ソフトウェア(OK,NG判断機能付き)
            ・ティーチングプレイバック動作 一度教えたステージ動作を繰り返し動作します。

            ・赤外線カメラを使用しており、赤外光がシリコンを透過する原理を利用しておりますので、
             非破壊検査が可能になります。
  
装置構成
赤外線顕微鏡(オリンパス、自社製品に対応)、赤外線CCDカメラ(標準タイプ・高解像タイプ)、
画像処理装置、自動X,Y,Zステージ(透過照明付)、コントローラー、LCDモニター、赤外線照明
ジョイスティック、自動欠陥検出ソフトウェア(欠陥部強調機能付)、対物レンズ、パソコン、モニター
  
            ・本検査装置は、今まで顕微鏡を使用して目視にて行なっていた検査を
             自動化、定量化するために開発しました。
            ・基本ソフトウェアには、画像取込、欠陥検出、判定、ステージ制御、キャリブレーショ
             ン機能、検査結果保存、欠陥画像保存等の機能があります。
            ・基本機能のみで対応できない欠陥につきましては当社にて、ソフトウェアの変更照明
             の追加等を行ないます。
            ・欠陥の判定機能は判定基準をサイズ、個数、色、明るさで設定出来ます。
            ・ワーク固定プレートは、ワーク形状に合わせて製作します。
            ・ワークローダー装置もオプションで取り付け可能です。
      
サンプル画像1 サンプル画像2
   
       
サンプル画像3 サンプル画像4
   
    
    
欠陥マップ作成例 欠陥画像例
 
   
    
MEMS検査装置の測定様子
    
    
MEMS検査装置 測定様子〜曲がった穴〜
  
  
自動供給、搬出機能も搭載可能