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主な機能 |
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ＤＴ-ＭＳ1700 |
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特徴 |
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スタンパー検査装置は、今まで顕微鏡を使用して目視を行なっていた検査を自動化、検出の定量化を行なうために開発しました。
基本ソフトウェアにはオートフォーカス、画像の取り込み、欠陥検出、判定、欠陥マップ表示、ステージ制御、キャリブレーション機能、検査結果の保存、欠陥の3Ｄ表示等の機能があります。 |
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・ワークをセットしてスタートボタンを押すとステージを移動させて画像を取り込み欠
陥部の検出を行ないます。
・欠陥の判定機能は判定基準をサイズ、個数、色、明るさで設定できます。
・欠陥マップと表を作成表示します。（データはＣＳＶファイルで保存できます）
・スタートボタンを押すごとにスタンパー全体を1フレームずつ表示撮影する目視検査
モードもあります。
・スタンパー固定プレートはワーク形状に合わせて製作します。 |
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基本仕様 |
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| 最小欠陥検出能力 |
5μm |
| 検査時間 |
15分/枚 |
| 対称スタンパー |
BD、HD-DVD |
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構成 |
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| 検査装置本体 |
CCDカメラ（1Mピクセル）オートフォーカス画像処理、
ステージ制御装置（PCベース）、LCDモニター、キーボード、
マウス、検査ソフトウェア、取り扱い説明書 |
| レンズ倍率対物 |
レンズ5倍、10倍 |
| 照明方式 |
反射照明（ハロゲン又はLED） |
| オートフォーカス |
ハードウェアAF |
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検査装置画面表示状況 |
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欠陥マップ、位置サイズ表、欠陥画像、欠陥拡大画像 |
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