VCSEL 計測装置 IR-VCSEL100
  
VCSEL計測装置  
赤外線カメラと特殊アルゴリズムを用いて通常では難しい
酸化アパーチャー径の自動計測を可能にしました。

  
      
               装置概要写真           VCSEL参考図
     
  
  新型照明対物レンズ100倍                   以前の照明
     100倍の対物レンズでも十分にコントラストが取れるようになりました。  
     
     
       新型照明 対物50倍で撮影  
     
     特徴
     ・目視では難しい酸化アパーチャー径を精密に自動計測します
     ・計測レシピの設定でウエハー上の任意の場所を計測出来ます
     ・自動計測の繰り返し精度は3σ=0.9μmです。
    
    
     導入のメリット
      ・計測精度の向上、計測能力の向上  
      ・測定時間の短縮、自動化 
      ・品質の安定
  
     動作シーケンス
      ・各種パラメーターを設定、保存します。
      ・ウエハーをステージに乗せてスタートボタンを押します。
      ・X,Y,θ軸を動作させてアライメントを行います
      ・あらかじめ設定した場所に移動して計測を行います。
      ・計測結果を画面に表示します。
      ・必要に応じてOK、NGの判定を行います。
    
     装置構成
      ・赤外線カメラ
      ・X,Y,θ軸及びオートフォーカス付きステージ
      ・赤外線照明
      ・計測ソフトウエア
      <オプション>
      ・カセットローダー、ウエハー供給ロボット